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產品簡介| 型號 | HE-ZXZ50 | HE-ZXZ100 |
| 行程（mm） | 50 | 100 |
| 負載（kg） | 4 | 4 |
| 分辨率（um） | 0.1 | 0.1 |
| 最小步進量（um） | 0.3 | 0.3 |
| 單向重復定位精度/保證值（um） | ±0.5 or 1 | ±0.5 or 1 |
| 單向重復定位精度/典型值（um） | ±0.2 or 0.6 | ±0.3 or 0.6 |
| 雙向重復定位精度/保證值（um） | ±1 or 2 | ±1 or 2 |
| 雙向重復定位精度/典型值（um） | ±0.5 or 1 | ±0.5 or 1 |
| 定位精度/保證值（um） | ±2 or 4 | ±2 or 4 |
| 定位精度/典型值（um） | ±1 or 2 | ±1 or 2 |
| 最大速度（mm/s） | 100 | 100 |
| 直線度（um） | 10 | 10 |
| 平整度（um） | 10 | 10 |
| 偏擺 | 20 | 20 |
| 俯仰 | 20 | 20 |
| 持續(xù)推力（N） | 17.6 | 17.6 |
| 峰值推力（N） | 88 | 88 |
| 重量（kg） | 6.5 | 10.2 |
※ 備注
1：水平放置下的中心垂直負載。
2：最小運動增量不等同于分辨率，最小運動增量是指運動系統(tǒng)在連續(xù)、穩(wěn)定情況下能夠移動的最小量。一般來說，系統(tǒng)分辨率遠小于最小運動增量。考慮傳動結構和編碼器對系統(tǒng)誤差的影響，直線電機位移臺與步進電機位移臺相比，其最小運動增量更加接近于分辨率。
3：精度測量數(shù)據(jù)是平臺在水平放置的情況下使用激光干涉儀測量的數(shù)據(jù)。
4：典型值和保證值的區(qū)別見技術指南。
5：最大速度為典型值，根據(jù)負載和控制器的不同會有區(qū)別。
產品詳情：
高精度、結構緊湊、集成靈活
直線電機垂直升降臺，專為需要高精度垂直定位的實驗室和工業(yè)應用而設計。升降臺采用直線電機驅動，具備高精度、高穩(wěn)定性、低噪音等特點，結構緊湊，易于集成，提供多種行程和配置選擇，滿足多樣化的應用需求。
主要特點:
兩種配重方案，適應不同應用環(huán)境： 可選配恒力彈簧或氣缸配重，滿足不同負載和速度需求，保證運動平穩(wěn)、一致性高。
強大軟件支持，輕松操控: 免費標準版 SDK，支持 Window、Linux 環(huán)境下多種開發(fā)語言 (C/C++、C#、Matlab、LabVIEW 等)，方便用戶進行二次開發(fā)和系統(tǒng)集成。
高性能控制器，實現(xiàn)復雜運動: 控制器支持圓弧插補、直線插補、位置記憶和任意圖形導入，可滿足各種復雜運動控制需求。(選配）
靈活通訊，無縫連接: 可選配 EtherCAT 總線控制，實現(xiàn)高速、穩(wěn)定的數(shù)據(jù)傳輸。
產品應用：
精密Z軸 Precision Z-axis、High-end Equipment、半導體檢測 Semiconductor Inspection、半導體切割 Semiconductor Cutting
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