產品簡介

HE-NM45系列高動態(tài)穩(wěn)定型壓電陶瓷納米臺標準線性平移臺 12~60μm

產品描述：

1、高速運動、直接驅動

2、設計小巧緊湊

3、閉環(huán)控制

4、可堆疊進行XY 運動

X 軸納米定位線性位移臺是基于壓電控制的線性位移臺，行程包括 12/30/45/60μm 及可定制其他行程版本。

HE-NM45 系列壓電納米位移臺采用高可靠多層低壓壓電疊堆陶瓷作為驅動元件，利用有限元優(yōu)化的固態(tài)撓性導向系統(tǒng)可確保好的平移運動。平臺采用了無摩擦柔性機構，壓電位移臺無需維護，無磨損，并具有快速響應和快速穩(wěn)定的性能，使其適用于動態(tài)過程，例如高頻誤差補償，跟蹤，快速步進或連續(xù)掃描等。閉環(huán)版本具有高分辨率應變片式位置傳感器，可實現(xiàn)高精度和可重復的運動，還可以補償壓電陶瓷的的蠕變。傳感器采用全閉環(huán)電橋設計。它可以在開環(huán)或閉環(huán)控制中運行。

壓電平臺固定是通過移動面和底板上的螺紋孔實現(xiàn)的。若要安裝到具有標準柵格的光學平臺或其他組件上，請使用轉接板轉接。在緊固過程中，應避免過大的彎矩載荷和作用在移動面與外殼之間的側向力，這些外力可能會損壞位移臺。

選配功能：可定制轉接工裝、可選PZT&Sensor 連接器及線纜長度、可選配閉環(huán)(SGS)  位置反饋系、可組維、可定制其他行程。

應用領域： 掃描顯微鏡、光纖端面檢測、干涉儀、測量技術、3D 錫膏檢測、光子、光纖定位、干涉、納米光刻、納米定位、電化學加。

產品參數(shù)：

注：所有規(guī)格參數(shù)基于室溫（22°C±3°C）測得，欲了解更多信息，請與我們聯(lián)系。表中“-"表示為不適用。

1.尾綴“-S"為閉環(huán)，內置位置傳感器。開環(huán)尾綴不帶"-S，無線性誤差、重復度數(shù)據(jù)。

2.最大驅動電壓為-20V~+150V，對于高可靠的長期使用，建議驅動電壓在0..+120V，更大行程請咨詢。出廠為標稱行程。

3.分辨率即定位噪聲。因為壓電陶瓷納米定位系統(tǒng)無摩擦，所以系統(tǒng)分辨率僅受放大器噪聲和測量技術的限制。通常使用RMS（1σ）值進行測量和指定。閉環(huán)分辨率為傳感器噪聲，驅動器電子噪聲和命令噪聲等的組合。

4.指通過干涉儀測得的壓電平臺可移動的最小步長值，它主要由壓電控制器的DAC分辨率決定。最佳情況下，參數(shù)表中為16-Bit對應的位移步長值。

5.軸向載荷，更高的負載請咨詢，注意超出標稱負荷會對柔性機構造成損壞。

6.更長的線纜長度請咨詢。

7.臺體重量不包括線纜及連接器的重量。

8.公差中Max.表示最大值；typ.表示標準典型數(shù)據(jù)值，檢測報告中會給出實際的測量數(shù)據(jù)值。

產品尺寸：